電子ビーム励起による半導体中の欠陥の研究

電子ビームによるマイクロパターンの測定に関する研究

電子ビーム励起プラズマCVDによる太陽電池用微結晶Si薄膜の成長に関する研究

短バンチ電子ビームによるコヒーレントな遷移放射の研究

超格子半導体によるナノ秒マルチバンチ偏極電子ビームの生成

陽電子消滅による格子欠陥の研究

半導体デバイス製造における電子ビーム利用技術の開発に関する研究

陽電子消滅法によるシリコン中の格子欠陥の研究

半導体レーザー励起小型固体レーザーに関する研究

高活性ビームによる表面反応ダイナミクスの研究

電子ビーム描画技術を用いた大規模半導体集積回路リソグラフィーに関する研究

電子ビーム・プラズマ系における不安定波動に関する研究

電子サイクロトロン共鳴プラズマ法による半導体のサブミクロン加工に関する研究

半導体レーザー励起高効率ハイパワー固体レーザーの開発に関する研究

半導体粉末に光生成するラジカルの電子スピン共鳴法による研究

表面電子分光法における表面励起に関する研究

放射光励起半導体素子作製プロセスに関する研究

電子ビームテスタによるLSI故障診断の高効率化に関する研究

ダイヤモンドの荷電ビーム援用加工に関する研究

非破壊試験によるコンクリートの欠陥評価法に関する研究

原子法レーザー同位体分離における電子ビーム蒸発過程に関する研究

トンネル分光法による高温超伝導体の電子状態に関する研究

ハルデン系の磁気励起の研究

高分解能電子顕微鏡法による半導体界面の微細構造解析に関する研究

高分解トンネル分光による固体中の電子状態の研究