窒化アルミニウム薄膜の作製と弾性表面波デバイスへの応用に関する研究

弾性表面波すだれ状電極の励振特性解析法の開発とその弾性表面波デバイス低損失化への応用に関する研究

弾性表面波デバイスを用いた溶液系センサの開発と識別システムへの応用に関する研究

半導体基板上への常誘電性および強誘電性弗化物薄膜の形成とデバイス応用に関する研究

反応性マグネトロンスパッタリング法により作製した窒化銅薄膜に関する研究

酸化物高温超伝導薄膜のサブミクロン加工とそのデバイス応用に関する研究

スペクトル拡散通信システムと弾性表面波マッチドフィルタの応用に関する研究

鉛系強誘電体薄膜の作製とそのメモリ応用に関する研究

ナノ結晶GaN薄膜の作製と物性評価およびその薄膜トランジスタへの応用

立方晶窒化ホウ素薄膜形成に関する基礎的研究

酸化亜鉛圧電膜を用いた弾性表面波フィルタの研究

イオンビームスパッタ法によるPb系強誘電体薄膜の形成およびその機能性デバイス応用に関する研究

窒化アルミニウム粉末の合成とその焼結に関する研究

ディップコーティング法による機能性酸化物薄膜の作製に関する研究

酸化物超伝導薄膜の作製とその輸送特性に関する研究

三次元弾性理論の厚肉円筒シェルへの応用に関する研究

強誘電体薄膜の集積回路への応用に関する研究

広帯域弾性表面波フィルタとその実用化に関する研究

プラズマ・レーザプロセスによる酸化物薄膜作製に関する研究

液晶機能デバイスとその光通信への応用に関する研究

シングルイオン照射法の開発とデバイス診断への応用に関する研究

非晶質シリコン薄膜トランジスタ及びその液晶ディスプレイへの応用の研究

高飽和磁化軟磁性薄膜の研究

酸化物薄膜の合成に関する研究

フラーレン薄膜の電気化学的特性に関する研究